日本 ONOSOKKI小野靜電容量式微小位移傳感器 VE系列

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產(chǎn)品名稱: 日本 ONOSOKKI小野靜電容量式微小位移傳感器 VE系列

產(chǎn)品型號(hào): VE系列

產(chǎn)品展商: ONOSOKKI小野

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簡(jiǎn)單介紹

日本 ONOSOKKI小野靜電容量式微小位移傳感器 VE系列日本 ONOSOKKI小野靜電容量式微小位移傳感器 VE系列

日本 ONOSOKKI小野靜電容量式微小位移傳感器 VE系列 的詳細(xì)介紹

日本 ONOSOKKI小野靜電容量式微小位移傳感器 VE系列

特長(zhǎng)

不受被測(cè)物的顏色，表面粗燥度，反射率以及環(huán)境光線的影響。

非接觸測(cè)量，對(duì)被測(cè)物體沒(méi)有影響。

傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單經(jīng)久耐用，適用范圍廣。

測(cè)量對(duì)象為導(dǎo)體時(shí)，材質(zhì)不同也不需要進(jìn)行再校準(zhǔn)處理即可測(cè)量（金屬以外硅，碳化復(fù)合物，水面等也可測(cè)量）

構(gòu)成

＊ VE系列靜電容量式微小位移傳感器可與VT-5200/5700系列非接觸靜電容量式位移計(jì)或CL-5610系列非接觸靜電容量式厚度計(jì)配套使用。測(cè)量對(duì)象與測(cè)量精度請(qǐng)參閱各產(chǎn)品的說(shuō)明頁(yè)面。

＊使用VE系列傳感器時(shí)，為了補(bǔ)償配套儀器的個(gè)體偏差，傳感器與配套儀器（位移計(jì)或厚度計(jì)）需要1對(duì)1進(jìn)行校準(zhǔn)匹配，要變更交換使用其他傳感器時(shí)（包括同型號(hào)）也要進(jìn)行再校準(zhǔn)。

測(cè)量對(duì)象

測(cè)量對(duì)象如是導(dǎo)體即可測(cè)量，例如以下材質(zhì)物品。

金屬板 鐵，鋁，鋼等。

硅片與金屬同樣測(cè)量。

銅箔基板 可以測(cè)量蝕刻處理前的兩面銅箔基板的厚度。

膏狀物體 高溫?zé)商幚砬暗碾姵貥O板等膏狀物體。

碳化材料板 各種碳化材料板狀物。

測(cè)量時(shí)的注意事項(xiàng)

耐熱絕緣鋁材 經(jīng)陽(yáng)極氧化處理的耐熱絕緣鋁板，表面為絕緣膜測(cè)量會(huì)發(fā)生不穩(wěn)定現(xiàn)象。

表面涂裝材料 表面使用絕緣物進(jìn)行涂裝處理的材料，測(cè)量結(jié)果含有誤差。

圓形物體 VE系列傳感器是以測(cè)量平面物為前提的傳感器，測(cè)量曲面時(shí)會(huì)產(chǎn)生誤差。

表面粗燥物 表面粗燥物的測(cè)量結(jié)果，比較使用接觸式測(cè)量的結(jié)果要小一些。使VE系列傳感器測(cè)量結(jié)果等同于將表面的凹凸進(jìn)行了平均，如果表面非常粗燥，有可能不能測(cè)量。

多孔狀物體 如果被測(cè)物為多孔狀物體，根據(jù)孔分布率測(cè)量結(jié)果小于實(shí)際數(shù)據(jù)。

絕緣體的測(cè)量

測(cè)量對(duì)象為絕緣體時(shí)，CL-5610系列非接觸靜電容量式厚度計(jì)配套CL-0300絕緣體測(cè)量軟件（選配），可高精度測(cè)量絕緣體（玻璃，藍(lán)寶石，水晶，塑料，塑料膜等）的厚度。

簡(jiǎn)要規(guī)格

標(biāo)準(zhǔn)型

型號(hào) VE-5010 VE-1020 VE-1520 VE-3020 VE-8020

測(cè)量范圍（μm）^※1 50 ～ 500 100 ～ 1000 150 ～ 1500 300 ～ 3000 800 ～ 8000

外形（mm）^※2 φ6 φ8 φ10 φ20 φ40

電纜長(zhǎng)度 1.5m（電纜一體型）信號(hào)電纜VL-1520/1521 1.5m （另購(gòu)）

溫度系數(shù) k1＝1.7×10^-5、k2＝3.4×10^-5

使用溫度范圍^※3 0 ～ +80 ℃

φ10mm通用基柱配套型

型號(hào) VE-2011 VE-5011 VE-1021 VE-3021
VE-8021

測(cè)量范圍（μm）^※1 20 ～ 200 50 ～ 500 100 ～ 1000 300 ～ 3000 800 ～ 8000

外形（mm）^※2 φ3 φ6 φ8 φ20 φ40

電纜長(zhǎng)度 信號(hào)電纜VL-1520/1521 1.5m （另購(gòu)）

溫度系數(shù) k1＝1.7×10^-5、k2＝3.4×10^-5

使用溫度范圍^※3 0 ～ +80 ℃

※1 測(cè)量范圍指?jìng)鞲衅鞯臏y(cè)量面到被測(cè)物的*大間距。
※2 被測(cè)物的被測(cè)面積必須大于傳感器的測(cè)量面的面積。
※3 使用溫度范圍指?jìng)鞲衅骺梢詼y(cè)量使用的溫度范圍，不是確保傳感器的直線性狀態(tài)的溫度范圍。
確保傳感器的直線性狀態(tài)的溫度范圍＋23 ℃±2 ℃。VE系列的溫度特性請(qǐng)參閱[ VE傳感器溫度特性 ]的說(shuō)明


配套信號(hào)電纜（另購(gòu)）

●VL-1520（兩端直型接頭，電纜長(zhǎng)度1.5 ｍ）

●VL-1521（L型接頭 - 直型接頭，電纜長(zhǎng)度1.5 ｍ）

VE傳感器溫度特性

ΔＤ≒ ?(K1×l + K2×D) Δt

K1 ：傳感器殼體材料的線膨脹率（1.7×10^-5）

K2 ：傳感器電極材料的面膨脹率（3.4×10^-5）

Δt ：溫度變化

D ：測(cè)量間距

ΔＤ：測(cè)量值變化

金屬板	鐵，鋁，鋼等。
硅片	與金屬同樣測(cè)量。
銅箔基板	可以測(cè)量蝕刻處理前的兩面銅箔基板的厚度。
膏狀物體	高溫?zé)商幚砬暗碾姵貥O板等膏狀物體。
碳化材料板	各種碳化材料板狀物。

耐熱絕緣鋁材	經(jīng)陽(yáng)極氧化處理的耐熱絕緣鋁板，表面為絕緣膜測(cè)量會(huì)發(fā)生不穩(wěn)定現(xiàn)象。
表面涂裝材料	表面使用絕緣物進(jìn)行涂裝處理的材料，測(cè)量結(jié)果含有誤差。
圓形物體	VE系列傳感器是以測(cè)量平面物為前提的傳感器，測(cè)量曲面時(shí)會(huì)產(chǎn)生誤差。
表面粗燥物	表面粗燥物的測(cè)量結(jié)果，比較使用接觸式測(cè)量的結(jié)果要小一些。使VE系列傳感器測(cè)量結(jié)果等同于將表面的凹凸進(jìn)行了平均，如果表面非常粗燥，有可能不能測(cè)量。
多孔狀物體	如果被測(cè)物為多孔狀物體，根據(jù)孔分布率測(cè)量結(jié)果小于實(shí)際數(shù)據(jù)。

型號(hào)	VE-5010	VE-1020	VE-1520	VE-3020	VE-8020
測(cè)量范圍（μm）^※1	50 ～ 500	100 ～ 1000	150 ～ 1500	300 ～ 3000	800 ～ 8000
外形（mm）^※2	φ6	φ8	φ10	φ20	φ40
電纜長(zhǎng)度	1.5m（電纜一體型）	信號(hào)電纜VL-1520/1521 1.5m （另購(gòu)）
溫度系數(shù)	k1＝1.7×10^-5、k2＝3.4×10^-5
使用溫度范圍^※3	0 ～ +80 ℃

型號(hào)	VE-2011	VE-5011	VE-1021	VE-3021	VE-8021
測(cè)量范圍（μm）^※1	20 ～ 200	50 ～ 500	100 ～ 1000	300 ～ 3000	800 ～ 8000
外形（mm）^※2	φ3	φ6	φ8	φ20	φ40
電纜長(zhǎng)度	信號(hào)電纜VL-1520/1521 1.5m （另購(gòu)）
溫度系數(shù)	k1＝1.7×10^-5、k2＝3.4×10^-5
使用溫度范圍^※3	0 ～ +80 ℃